石墨坩埚的中心规划要害
材料挑选与复合结构
主体材料:以天然鳞片石墨为主,因其具有耐高温(可达3000℃以上)、导热性优异(热导率约100-150W/(m·K))、化学安稳性强(常温下不与大多数酸碱反响)等特性。
复合结构:针对特定场景(如熔炼生动金属),选用外层石墨+内层氮化硼(BN)的复合规划。BN耐超高温(熔点约3000℃)且化学慵懒极强,可防止金属与石墨反响,但本钱较高且脆性大,因而仅用于内层防护。
密封与压紧规划
密封部件:经过环状体(固定于内胆顶端)与密封板(固定于顶盖下表面)的贴合完毕密封,防止气体泄露或杂质进入。
压紧部件:在铁质坩埚侧壁顶端设备压紧设备,经过延伸螺杆、凹形座及压板联动,完毕顶盖的安稳压紧与快速拆开,一起防止压板阻挠顶盖运用。
热场均匀性规划
单环结构:坩埚边缘设置单环,便于用坩埚钳夹持,确保转移过程中安稳操作。
石墨套筒:在碳化硅晶体生长设备中,经过石墨套筒将坩埚差异为材料区与非材料区,套筒侧壁开设倾斜通孔(与轴线成30°-70°角),防止材料窜流,一起确保热场均匀性。
标准与形状优化
类型差异:
单孔坩埚:用于熔炼和加热,腔体呈碗状或杯状,壁厚需接受高温与压力。
双孔/多孔坩埚:双孔用于加热和结晶,多孔可根据需求定制,满足杂乱试验需求。
特别形状:如半月形流盘(双浇口规划)、长型(外口径与高度比0.6-0.7:1)、碗型(口径与高度比1:1)等,习气不同工艺流程。
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